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化学过滤器在洁净工程中的应用案例

某电子厂为控制芯片生产中的AMC,在新风处理机组(MAU)和FFU中安装化学过滤器:

  • MAU化学过滤器:去除室外空气中的有毒有害气体,保障进入室内的空气达标。

  • FFU化学过滤器:安装在HEPA/ULPA上游,定制滤料去除工作区内的有害气体,创造局部超洁净环境。
    通过合理配置,该厂将AMC浓度控制在标准范围内,产品良率提升15%。


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